|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ФНКЦ РР |
||
УДАЛЕНИЕ ПЛЕНОК А-С:Н, ОСАЖДЕННЫХ НА МО, ОКИСЛЕНИЕ МО И ВОССТАНОВЛЕНИЕ МоОх В РАЗРЯДАХ O2 И D2статья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
- Авторы: Городецкий А.Е., Залавутдинов Р.Х., Буховец В.Л., Казанский Л.П., Маркин А.В., Захаров А.П.
- Журнал: Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования
- Номер: 10
- Год издания: 2015
- Издательство: ФГБУ "Издательство "Наука"
- Местоположение издательства: Москва
- Первая страница: 85
- Последняя страница: 93
- Аннотация: Исследованы особенности удаления пленок а-С:Н и окисления Мо в проточном тлеющем разряде кислорода, а также восстановления оксида молибдена в разряде дейтерия (T = 300320 K). После удаления углерода в условиях O2-разряда на крупноблочном молибдене с преимущественной ориентацией Мо(110) формировался стационарный слой оксида МоO3 с предельной толщиной 2530 нм. Оксидные пленки были восстановлены в дейтериевой плазме с селективным коэффициентом распыления масштаба 0.01 ат. О/ион D . Использование кислородного разряда для очистки молибденовых внутренних поверхностей термоядерного реактора от углеводородных отложений потребует дополнительной последующей экспозиции рабочей камеры в дейтериевой плазме в течение 810 ч для удаления кислорода из образовавшихся оксидных слоев -МоО3 с предельным содержанием кислорода 44.5 мкг/см2.
- Добавил в систему: Тюрин Денис Николаевич