On the mechanism of polyimide surface roughening due to anisotropic etching with a beam of fast oxygen atomsстатья

Информация о цитировании статьи получена из Web of Science, Scopus
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 26 декабря 2017 г.