|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ФНКЦ РР |
||
The high speed probe diagnostics nonequilibrium anisotropic plasma for etchingтезисы доклада
- Авторы: Ershov A.P., Kalinin A.V., Malkov M.A., Shibkov V.M.
- Сборник: Proceedings of International symposium on theoretical and applied aspects of plasma chemistry
- Тезисы
- Год издания: 1991
- Место издания: Riga
- Первая страница: 52
- Последняя страница: 52
- Добавил в систему: Шибков Валерий Михайлович