Физические характеристики чувствительных элементов датчиков обратной связи, совмещенных с термомеханическими актюаторами, для систем управления микроперемещением объектовстатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 24 октября 2018 г.
Аннотация:Работа посвящена расширению функциональности и возможных сфер применения компонентов микроробототехнических систем актюаторов, основанных на термомеханическом эффекте и применяемых в системах управления перемещением миниатюрных объектов. Добавление в конструкцию актюатора дополнительного верхнего слоя металлизации позволило создать в его структуре чувствительный элемент, реагирующий на воздействие влажности, освещенности и перемещения. Таким образом, в едином изделии удается совместить активный и чувствительный элементы, организовать обратную связь, добившись упрощения технологии и снижения стоимости многофункционального устройства.