ИСТИНА

Патентный поиск проводился с целью определения патентоспособности планируемых результатов научно-исследовательской работы по теме «Разработка методов формирования кремниевых наноструктур для использования в фотонике и молекулярной сенсорике», а также для получения сведений об охранных и иных документах, которые могут препятствовать применению результатов данной НИР в Российской Федерации. Целью работы является разработка методов формирования кремниевых наноструктур с характерными размерами элементов в диапазоне от 2 до 1000 нм для использования в фотонике и молекулярной сенсорике.