ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
|
ФНКЦ РР |
||
Объектом исследования являются аксиально-симметричные электростатические анализаторы энергий заряженных частиц. Цель работы. Расчет светосильных анализаторов с высокими электронно-оптическими параметрами на основе мультипольно-цилиндрических полей; обоснование возможности перевода комбинированного спектрометра в режим двойного спектрографа по углу и энергии. Методы исследования. Аналитический, приближенно-аналитический метод расчета траекторий заряженных частиц в заданных электростатических полях в сочетании с численными методами. Результаты работы. Проведен расчет и анализ электронно-оптических параметров электростатических гексапольно-цилиндрических и декапольно-цилиндрических энергоанализаторов потоков заряженных частиц. Предложен энергоанализатор, комбинированный из гиперболического и цилиндрического зеркал, изучена возможность его перевода в режим двойного спектрографа по энергии и углу. Для пространственного совмещения методов вторично-ионной масс-спектрометрии и электронной оже-спектроскопии предложено использовать анализаторы с мультипольно-цилиндрическим полем, так как они обладают большими фокусными расстояниями «образец-анализатор». Новизна работы. Рассчитаны новые анализаторы потоков заряженных частиц с высокими параметрами для экспрессного и информативного анализа поверхности твердого тела. Область применения: физическая электроника, микро- и наноэлектроника, корпускулярная оптика, электронная спектроскопия.