Ионная имплантация
Ключевые слова: Ионная имплантация / Ion implantation
Поверхность и тонкие пленки
Ключевые слова: Поверхность и тонкие пленки / Поверхность и тонкие пленки
Наноматериалы
Ключевые слова: Наноматериалы / Nanomaterials
Взаимодействие ионных пучков с веществом, модификация поверхности и тонких пленок, ионная имплантация, влияние ионного облучения на свойства наноразмерных частиц, углеродные наноматериалы, кремниевые наноматериалы, резерфодовское обратное рассеяние, спектроскопия рассеяния ионов средних энергий, дефектообразование
Interaction of ion beams with matter, surface and thin film modification, ion implantation, the effect of ion irradiation on the properties of nanoscale particles, carbon nanomaterials, silicon nanomaterials, Rutherford backscattering, Medium-Energy Ion Scattering (MEIS), defect formation