–
НИР и НИОКР
-
- 3 декабря 2018 - 3 января 2021 Исследование и разработка многостадийных, циклических процессов плазмохимического травления материалов с атомарным разрешением для формирования многоуровневых систем металлизации суб-10 нм технологии изготовления интегральных схем
- Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Физико-технологический институт имени К.А. Валиева Российской академии наук
- Руководитель: Амиров И.И. Ответственные исполнители: Воронина Е.Н., Зотович А.И., Лопаев Д.В. Участники НИР: Волошин Д.Г., Волынец А.В., Горлачев Е.С., Изюмов М.О., Куприянов А.Н., Наумов В.В., Чукаловский А.А.