Создать обращение в службу поддержки пользователей
Обращение успешно создано! Ему присвоен номер 0.
На адрес Вашей электронной почты отправлено письмо о регистрации обращения. Вы можете ответить на него, если хотите предоставить дополнительную информацию или прикрепить файлы.
Произошла ошибка при создании обращения. Попробуйте перезагрузить страницу и заново создать обращение.

Подтверждение выхода

Вы действительно хотите завершить сессию?
ИСТИНА ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
  • Область интересов
  • Публикации
  • НИР и НИОКР
  • Доклады
  • Учебная работа
  • Инновации
  • Прочее
  • Все результаты
Удаление сотрудника
Вы действительно хотите удалить сотрудника?
Удалить
Yonekura I.
Yonekura I.
IstinaResearcherID (IRID): 3851449
–

Статьи в сборниках

    • 2012 CD-Metrology of EUV masks in the presence of charging: measurement and simulation
    • Babin S., Borisov S., Hakii H., Nishiyama Y., Yonekura I.
    • в сборнике Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, с. 844108 DOI
    • 2012 CD-Metrology of EUV masks in the presence of charging: measurement and simulation
    • Babin S., Borisov S., Hakii H., Nishiyama Y., Yonekura I.
    • в сборнике Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, с. 844108 DOI

ФНКЦ РР
© 2011-2025 Лаборатория 404. НИИ механики МГУ.
Правила пользования
Помощь
Создать обращение Обратная связь