Создать обращение в службу поддержки пользователей
Обращение успешно создано! Ему присвоен номер 0.
На адрес Вашей электронной почты отправлено письмо о регистрации обращения. Вы можете ответить на него, если хотите предоставить дополнительную информацию или прикрепить файлы.
Произошла ошибка при создании обращения. Попробуйте перезагрузить страницу и заново создать обращение.

Подтверждение выхода

Вы действительно хотите завершить сессию?
ИСТИНА ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
  • Область интересов
  • Публикации
  • НИР и НИОКР
  • Доклады
  • Учебная работа
  • Инновации
  • Прочее
  • Все результаты
Удаление сотрудника
Вы действительно хотите удалить сотрудника?
Удалить
koval43
Ковалевский Владимир Леонидович koval43

кандидат физико-математических наук с 1989 года

МГУ имени М.В. Ломоносова Кафедра физической электроники (Физический факультет) ведущий специалист с 1 января 1976 г.

IstinaResearcherID (IRID): 39471685
–

Патенты

    • 1992 Плазмохимический реактор баррельного типа
    • Авторы: Киреев В.Ю., Ковалевский В.Л., Рябый В.А., Савинов В.П., Спорыхин А.А., Якунин В.Г.
    • #Пат. РФ № RU2024990 C1, 5H01L 21/302, 1992, 23 марта
    • 1987 Способ контроля параметров плазмы низкого давления в высокочастотном емкостном разряде
    • Авторы: Ковалевский В.Л., Кузовников А.А., Рябый В.А., Савинов В.П., Спорыхин А.А., Якунин В.Г.
    • #А.С. СССР № 1531827, H01L 21/00, 26 июня

ФНКЦ РР
© 2011-2025 Лаборатория 404. НИИ механики МГУ.
Правила пользования
Помощь
Создать обращение Обратная связь