–
Патенты
-
- 1992 Плазмохимический реактор баррельного типа
- Авторы: Киреев В.Ю., Ковалевский В.Л., Рябый В.А., Савинов В.П., Спорыхин А.А., Якунин В.Г.
- #Пат. РФ № RU2024990 C1, 5H01L 21/302, 1992, 23 марта
-
- 1987 Способ контроля параметров плазмы низкого давления в высокочастотном емкостном разряде
- Авторы: Ковалевский В.Л., Кузовников А.А., Рябый В.А., Савинов В.П., Спорыхин А.А., Якунин В.Г.
- #А.С. СССР № 1531827, H01L 21/00, 26 июня