–
Патенты
-
- 1997 УСТРОЙСТВО КАТОДНОГО УЗЛА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПЛЕНОК В ВАКУУМЕ
- Авторы: Ивашов Е.Н., Кондрашов П.Е., Оринчев С.М., Слепцов В.В., Степанчиков С.В.
- #RU 2089659 C1, 10 сентября
-
- 1997 СПОСОБ НАПУСКА ГАЗА В ВАКУУМНУЮ КАМЕРУ
- Авторы: Вологиров А.Г., Ивашов Е.Н., Кондрашов П.Е., Оринчев С.М., Слепцов В.В., Степанчиков С.В.
- #RU 2073745 C1, 20 февраля