–
Патенты
-
- 1997 УСТРОЙСТВО КАТОДНОГО УЗЛА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПЛЕНОК В ВАКУУМЕ
- Авторы: Ивашов Е.Н., Кондрашов П.Е., Оринчев С.М., Слепцов В.В., Степанчиков С.В.
- #RU 2089659 C1, 10 сентября
-
- 1995 УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОХЛАЖДЕНИЯ ПОДЛОЖЕК В ВАКУУМЕ
- Авторы: Ивашов Е.Н., Кондрашов П.Е., Оринчев С.М., Степанчиков С.В.
- #RU 2046838 C1, 27 октября
-
- 1995 КАТОДНЫЙ УЗЕЛ ПРЕИМУЩЕСТВЕННО ДЛЯ ПУЧКОВО-ПЛАЗМЕННОГО НАНЕСЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК В ВАКУУМЕ
- Авторы: Ивашов Е.Н., Кондрашов П.Е., Оринчев С.М., Слепцов В.В., Степанчиков С.В.
- #RU 2046154 C1, 20 октября