|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ФНКЦ РР |
||
Proceedings of SPIE, Proceedings Volume 11022, International Conference on Micro- and Nano-Electronicsсборник
- Год издания: 2019
- Серия: International Conference on Micro- and Nano-Electronics
- Том: 11022
- Издательство: SPIE
- Местоположение издательства: Bellingham, WA, United States
- Добавил в систему: Ожигов Юрий Игоревич
Статьи, опубликованные в сборнике
-
- 2019 The opportunities of Rutherford backscattering spectroscopy for analysis of multilayer nanometer thin film structures
- Bachurin V., Churilov A., Melesov N., Parshin E., Rudy A., Trushin O.
- в сборнике Proceedings of SPIE, Proceedings Volume 11022, International Conference on Micro- and Nano-Electronics, серия International Conference on Micro- and Nano-Electronics, издательство SPIE (Bellingham, WA, United States), том 11022, с. 110221I DOI