Взатмодействие плазмы с поверхностьюсборник

Статьи, опубликованные в сборнике

---

• • 2019 "Изменение морфологии и светопропускания кварцевых окон в чистящем ВЧ разряде в смеси D2/N2"
  • Городецкий А.Е., Буховец В.Л., Маркин А.В., Золотаревский В.И., Залавутдинов Р.Х., Захаров А.П., Войтицкий В.Л., Дмитриев А.М., Раздобарин А.Г., Мухин Е.Е.
  • в сборнике Взатмодействие плазмы с поверхностью, серия Материалы XXII конференции, издательство НИЯУ МИФИ (Москва), с. 43-46