Book of abstract PESM 2016, May 9-10, Grenoble, Franceсборник

Статьи, опубликованные в сборнике

---

• • 2016 Etching/oxidation technology for sub-30nm Silicon nanowire array manifacturing
  • Miakonkikh A., Tatarintsev A.А., Rogozhin A., Rudenko K., Orlikovsky A.
  • в сборнике Book of abstract PESM 2016, May 9-10, Grenoble, France, тезисы, с. P08