Proceedings of the International Conference “Micro- and Nanoelectronics – 2018” (ICMNE-2018)сборник

Статьи, опубликованные в сборнике

---

• 
  • 2018 Finite-element predictive 3D modelling and optimization of membrane-based thermoresistive MEMS accelerometers
  • Djuzhev N.A., Lapshin R.V., Belin A.M., Ovodov A.I., Novikov D.V., Demin G.D.
  • в сборнике Proceedings of the International Conference “Micro- and Nanoelectronics – 2018” (ICMNE-2018), место издания SPIE, том 11022, с. 94