Труды XXVI международной конференции "Взаимодействие ионов с поверхностью (ВИП-2023)", Ярославль 21–25 августа 2023сборник
Статьи, опубликованные в сборнике
-
-
2023
Влияние ионной бомбардировки на скорость травления и состав поверхности пленки рутения в кислородсодержащей плазме
-
Амиров И.И.,
Изюмов М.О.,
Алов Н.В.,
Шаранов П.Ю.,
Лопаев Д.В.,
Рахимова Т.В.
-
в сборнике Труды XXVI международной конференции "Взаимодействие ионов с поверхностью (ВИП-2023)", Ярославль 21–25 августа 2023, издательство НИЯУ МИФИ (Москва), том 2, тезисы, с. 147-149