Аннотация:Работа посвящена исследованию статических характеристик термомеханического актюатора для манипулирования микрообъектами. Актюатор представляет собой совокупность кремниевых балок (звеньев), последовательно соединенных термоупругими шарнирами. Шарнир представляет V-образный паз, заполненный полиимидом. Коэффициент термического расширения полиимида значительно превышает коэффициент термического расширения кремния. Вдоль актюатора проложены гибкие токопроводящие шины с высоким удельным сопротивлением, которые служат нагревателем. При нагревании устройства электрическим током полиимид в пазах шарниров расширяется, в результате чего звенья поворачиваются друг относительно друга. Этот эффект можно использовать для управления актюатором посредством его нагревания и охлаждения. Полиимид обладает упругостью, вследствие чего при внешнем нагружении актюатора в его шарнирах формируются крутящие моменты, препятствующие деформации многозвенника.
Построена математическая модель шарнира термомеханического многозвенного актюатора. Получены аналитические выражения угла между звеньями ненагруженного актюатора и крутильной жесткости шарнира как функции температуры. Рассчитана статическая конфигурация актюатора, нагруженного силой на одном из его концов. Исследована зависимость углов между звеньями нагруженного актюатора от величины и направления нагружающей силы и от температуры. Проведено сравнение результатов расчетов с экспериментальными данными.