|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ФНКЦ РР |
||
The opportunities of Rutherford backscattering spectroscopy for analysis of multilayer nanometer thin film structuresстатья
Информация о цитировании статьи получена из
Web of Science,
Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 11 ноября 2020 г.
- Авторы: Bachurin V., Churilov A., Melesov N., Parshin E., Rudy A., Trushin O.
- Сборник: Proceedings of SPIE, Proceedings Volume 11022, International Conference on Micro- and Nano-Electronics
- Серия: International Conference on Micro- and Nano-Electronics
- Том: 11022
- Год издания: 2019
- Издательство: SPIE
- Местоположение издательства: Bellingham, WA, United States
- Первая страница: 110221I
- DOI: 10.1117/12.2522103
- Добавил в систему: Бачурин Владимир Иванович