|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ФНКЦ РР |
||
Дифракционный контроль в технологии шагающих микророботовстатья
- Авторы: Болотник Н.Н., Жуков А.А., Гребенюк Е.И., Александров А.С., Петелин Н.А.
- Сборник: Труды 32-й международной научно-технической конференции ЭКСТРЕМАЛЬНАЯ РОБОТОТЕХНИКА
- Год издания: 2021
- Место издания: ЦНИИ робототехники и технической кибернетики Санкт-Петербург
- Первая страница: 57
- Последняя страница: 64
- Аннотация: В статье рассмотрен вопрос возможности применения дифракционного метода для автоматизированного контроля качества изготовления прецизионных сквозных микроотверстий в кремниевых элементах шагающих микророботов диаметром 50-300 мкм с аспектным соотношением (длины отверстия l к диаметру D) l/D ≥1. Установлены информативные параметры дифракционного распределения, связывающие геометрию поверхности микроотверстий и дефекты их изготовления, обуславливаемые рядом технологических факторов. Получены эмпирические зависимости, позволяющие с помощью дифракционного метода оценить геометрические параметры микроотверстий на различных этапах технологического процесса изготовления элементов шагающих микророботов. Разработаны технология и технические предложения автоматизированного дифракционного контроля микроотверстий элементов шагающих микророботов.
- Добавил в систему: Болотник Николай Николаевич