|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ФНКЦ РР |
||
Количественный анализ наноструктуры аморфной фазы SiO2тезисы доклада
- Авторы: Соколов В.Н., Чернов М.С., Разгулина О.В., Юрковец Д.И.
- Сборник: 2-й Международный форум «Техноюнити – Электронно-лучевые технологии для микроэлектроники». Тезисы докладов
- Тезисы
- Год издания: 2017
- Место издания: «Богородский печатник» Черноголовка
- Первая страница: 113
- Последняя страница: 113
- Добавил в систему: Чернов Михаил Сергеевич