Область научных интересов

Образование

  • 1984 к.т.н. Моделирование тепловых эффектов электронно-лучевого экспонирования фотошаблонов больших интегральных схем.
  • 1966–1973 Специалитет Московский институт электроники и математики НИУ ВШЭ, Прикладной математики (Прикладная математика)

Результаты деятельности

Соавторы: Коваленко И.Б., Ризниченко Г.Ю., Устинин Д.М., Абатурова А.М., Докукина И.В., Чуличков А.И., Рубин А.Б., Черёмухин Е.А., Борисов С.С., Зайцев С.И., Громов П.А., Негуляев Н.Н., Цуканов А.А., Грачева М.Е., Ивонин Д.А., Князева О.С., Ямашев М.В., Кисиль С.И., Кузьмин И.Ю., Бикулов Д.А., Грачев Н.Е., Макаров С.С., Сердобольская М.Л., Калнин Т.Г., Abrosimov A.T., Gromov P.A., Антал Т.К., Гришин П.А., Губский Л.В., Исаева А.В. Мисютина Т.С. Тилинова О.М. Цыганков В.Ю. Шеин Е.В. Шеляго Е.В. Язынина И.В. Gunton J.D. Rotkin S.V. Абросимов К.Н. Акифьев А.А. Блошенко А.В. Богданкевич Н.М. Веремко Н.А. Горбатиков А.В. Дьяконова А.Н. Зайцев С.И. Илинова С.А. Калабухов Д.И. Кочетов А.Г. Кренделева Т.Е. Кукарских Г.П. Мартышина А.В. Мурашев В.Э. Ошарин О.В. Потемкин С.Б. Рыбалко В.В. Саратов А.А. Сенин Д.С. Смирнов А.С. Сорокина Н.В. Тимофеев К.Н. Федотов А.Б. Babin S. Galkina P.A. Gutmanas E.Y. Negulyaev N.N. Ocola L.E. Puller V.I. Snyder S.E. Акифьев A.A. Гудцов П.С. Дембовецкий А.В. Джебраилова Ю.Н. Докукин М.Е. Захаров А.М. Иванов Н.Ю. Камали Д.М. Кафафов А.А. Кольцов Д. Лукашенко А.Т. Митин И.В. Орешкин А.А. Перов Н.С. Плюснина Т.Ю. Полина Г.Ю. Ржевский В.В. Романов А.И. Савина К.Н. Савина К. Самарина Е.А. Самарина Т.О. Сержан Б.Л. Скрипка Е.М. Стахневич В.В. Сумин А.А. Умарова А.Б. Федорова О.В. Хрущев С.С. Чернявский М.В. матвеева т.в.