Ключевые слова: распыление; ионная имплантация; РОР; МСВИ; АСМ / sputtering; ion implantation; RBS; SIMS; AFM
кластерные ионы, распыление, модификация поверхности, нанорельеф, атомно-силовая микроскопия, ионная имплантация
cluster ions, sputtering, surface modification, nanorelief, atomic force microscopy, ion implantation